Automegasamdri®-915B, Series B
オートメガサムドリ-915B, シリーズB (クリーンルーム仕様)
tousimis catalog #8785C
- ■ オートマチック臨界点乾燥器
- ■ 直径６"迄のウェハ５枚 処理可能
- ■ クリーンルーム仕様
臨界点乾燥器Automegasamdri® -915Bシステムは、Dr. A.J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました
スムーズな動作と正確な制御は臨界点乾燥器Automegasamdri® -915Bの特徴です。
ウェハホルダーとインサートは10mm四方のチップ(Die). と同様に6"、4"、3"、 2"の処理も張り付きを生じない処理を可能にしました。
Supercritical Automegasamdri®-915Bのチャンバーは内径 6.50"で、 6"直径のウェハ６枚まで張り付きを生じることなく処理する事ができます
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特徴
- 完全自動化処理を考慮したマイクロプロセッサによる制御*
- 装置内部の表面は全てCO2と超高純度アルコールに対して不活性化*
- 動作パラメータの設定により再現性の高い結果を保証*
- 優れた温度制御.*
- 全ての電子部品はCE, UL規格と米国陸軍規格に準拠
- 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御
- 0.4um径の内部ステレンス焼結フィルターによって、ライン及びウェハ／チップ(die)そしてバルブを微粒子から守るのに役立ちます*
- 内部状態を観察するための窓と内部照明つきのチャンバー
- 安全性のために内部に設置されたラプチュアディスク*
- ３分以内にチャンバーを室温から0℃まで冷却する、効果的な断熱冷却システム*
- パージ（不純分子追放）中のチャンバー内温度を0-10℃に自動的に維持*
- パネルLEDは器機の状態を即時表示*
- 最新の信頼出来るソリッドステイト電子回路
- クリーンルーム対応：静電フリー設計
- 特許出願中のSOTER™ コンデンサーが排気とアルコールを完全に捕らえ、安全性と簡便性を確保*
- ユニークなチャンバーインサート*がチャンバー内径（I.D.）の変動に対応。LCO2の消費と処理時間の効率を格段に上げ、チャンバーのサイズを 1.25"まで下げることが可能
- １度に６"までのウェハを5枚まで処理（６"ウェハモデル）
- 内部システムとキャビネットは静電気フリー設計*
- アメリカ国内においては、質の高いtousimis® 社技術者による取り付け、トレーニング、相談サービス。またインターナショナルでは、オンサイトスタートアップトレ−ニングが可能です。 お問い合わせ下さい。
- キャビネット： 36cm（幅）×30cm（高さ）×64cm（奥行き)
- チャンバーサイズ： 内径6.5"x 深さ1.25"
- システム設置に必要なエリア： 122cm（幅）×87cm（奥行き)
- チャンバー容量： 628ml
- 温度ゲージ範囲： -30℃〜60℃
- 圧力ゲージ範囲： 0〜2000psi
- プリセット（調節可能）のバーニアハンドル付きマイロメータリングバルブを用いて流量制御
- オペレータの好みで調節可能*
- 120V/60Hz/15A（その他の電圧でもご用意できます。ご連絡下さい)
- 複数の10mm四方のチップ(die)から6"ウェハまでの試料を付属のサンプルホルダーとの併用で1度に5枚まで処理可能 （これらのテフロン製サンプルホルダーはHF前処理からAutomegasamdri® チャンバーへの導入までの プロセス及び運搬時にも使用可能）
- 120 V / 60Hz(他の仕様でも用意できます。ご相談下さい)
- クリーンルーム内で対応：外側はステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングの10 feet (〜３ｍ） LCO2 高圧ホース。異なる長さがご希望の場合はお問い合わせ下さい(有料)
- 水分／油分／微粒子(直径0.5um以上)を除去するLCO2外部コンビネーションフィルタ(#8784)チャンバーに接続されたLCO2 高圧ホースにプレインストール
- 新しい SOTER™コンデンサーはAutomegasamdri®-915B排気ホースに直接接続されます。
- アルコールを捕集し、排気音を軽減します
- 全ての排気口には静電フリーチューブを使用
- ステンレス製内部フィルター(ポア直径 0.4um)が各ライン、ウェハ／チップ(die)そしてバルブを保護
- 流量計により排気量を正確にコントロール
- 交換用チャンバー O-リング (3)、交換用チャンバーランプ (１), 交換用 5A slo-blow ヒューズ(2)
- Teflon®チャンバーインサート(４種)：チャンバー内径 6"、4"、3"、2"そして1.25"対応*
- Teflon® ウェハ/チップ(Die)ホルダー： 外径 6"、4"、3"、2"そして 10mm x 10mm 四方のチップ(Die)用ホルダー(いずれもＨＦ耐性有り)
- tousimis® 社技術スタッフによる技術サポート(アメリカ)
- 全てのパーツ・修理を2年間保証(全ての修理は、アメリカのトーシミス社で行われます。）
- 規格：
- 標準アクセサリー：
オプショナルアクセサリー
| 8777 | SOTERx CONDENSER |
| 8760-02 | KNURL NUT for any tousimis® Autosamdri®-815B and Automegasamdri®-915B Chamber I.D. |
| 8760-40 | 5 AMP FUSE |
| 8770-10 | CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz |
| 8770-32 | HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft |
| 8770-33 | HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft |
| 8770-HPS | HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft) |
| 8770-90 | CHAMBER LID, for Automegasamdri®-915B |
| 8770-51T/915B | Teflon® O-Ring for Automegasamdri®-915B |
| 8784 | LCO2 Filter Housing |
| 8784A | LCO2 FILTER ELEMENT for #8784 |
| 8783 | LCO2 Filter Adaptor Kit |
| 8770-53 | POWER CABLE |
| 8770-54 | LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT |
| 8770-55 | LCO2 TANK HEATER |
| 8768A | TEFLON® WAFER HOLDER for 6" Diameter Wafers |
| 8768F | TEFLON® WAFER HOLDER for 5" Diameter Wafers |
| 8768B | TEFLON® WAFER HOLDER for 4" Diameter Wafers |
| 8768C | TEFLON® WAFER HOLDER for 3" Diameter Wafers |
| 8768D | TEFLON® WAFER HOLDER for 2" Diameter Wafers |
| 8768G | TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers |
| 8768E | TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips |