Autosamdri®-815B, Series B
オートサムドリ-815B, シリーズB （クリーンルーム仕様）
tousimis catalog #8780C
- ■ オートマチック超臨界点乾燥器
- ■ 直径４"迄のウェハ５枚 処理可能
- ■ クリーンルーム仕様
臨界点乾燥器Autosamdri®-815B シリーズBは、Dr. A.J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました
臨界点乾燥器 Autosamdri®-815B, Series Bはフルオートマチックのマイクロプロセッサ制御装置としてリリースされたツールです。
ご希望であれば、マニュアルモードでのプログラムも可能です。スムーズな動作と正確な制御は臨界点乾燥器Autosamdri®-815Bの特徴です。
直径4.50"の臨界点乾燥器 Autosamdri®-815B, Series Bのチャンバーは、張り付きを起こさずに直径4"のウェハの処理を可能にしました。
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特徴
- 完全自動化処理を考慮したマイクロプロセッサによる制御*
- 装置内部の表面は全てCO2と超高純度アルコールに対して不活性化*
- 繰り返し操作可能なパラメータで再現性の有る結果を確保*
- 優れた温度制御.*
- 全ての電子部品はCE, UL規格と米国陸軍規格に準拠
- 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御
- 0.4um径の内部ステレンス焼結フィルターによって、ライン及びウェハ／チップ(die)そしてバルブを微粒子から守るのに役立ちます*
- 内部状態を観察するための窓と内部照明つきのチャンバー
- 安全性のために内部に設置されたラプチュアディスク.*
- ３分以内にチャンバーを室温から0℃まで冷却する、効果的な断熱冷却システム。FILLモードやPURGEモードの温度を自動的に保持*
- パネルLEDは器機の状態を即時表示*
- 最新の信頼出来るソリッドステイト電子回路
- クリーンルーム対応：静電フリー設計
- 特許出願中のSOTER™ コンデンサーが排気とアルコールを完全に捕らえ、安全性と簡便性を確保*
- ユニークなチャンバーインサート*がチャンバー内径（I.D.）の変動に対応。LCO2の消費と処理時間の効率を向上
- １度に４"までのウェハを5枚まで処理（４"ウェハモデル）
- キャビネット: 36cm(幅) x 30cm(高さ) x 64cm(奥行き)
- チャンバーサイズ: 内径4.50" x 深さ1.25"
- システムの設置に必要な広さ: 幅 48" x 奥行き 34"
- チャンバー容量: 406 ml
- 温度ゲージ範囲: -30℃〜60℃
- 圧力ゲージ範囲: 0〜2,000 psi
- バーニアハンドル付きマイクロメータリングバルブで簡単にLCO2流量制御
- 120 V/ 60 Hz, 15A (そのほかの規格も対応いたしますのでご相談下さい)一度に処理できる最大数量は、４”ウェハ５枚まで又は、 トーシミス社のテフロンチップ(die)ホルダーを用いて、10mm角のチップ複数処理可能(トーシミス社のテフロンサンプルホルダー*は、チップを ＨＦからAutosamdri®-815B チャンバーへの移動にも便利です)
- 120 V / 60Hz(他の仕様でも用意できます。ご相談下さい)
- クリーンルーム内で対応：外側はステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングの10 feet (〜３ｍ） LCO2 高圧ホース。異なる長さがご希望の場合はお問い合わせ下さい(有料)
- 水分／油分／微粒子(直径0.5um以上)を除去するLCO2外部コンビネーションフィルター(#8784)チャンバーに接続されたLCO2 高圧ホースにプレインストール
- 新しい SOTER™ コンデンサーはAutomegasamdri®-815B排気ホースに直接接続されます。アルコールを捕集し、排気音を軽減します*
- 全ての排気口には静電フリーチューブを使用
- ステンレス製内部フィルター(ポア直径 0.5um)が各ライン、ウェハ／チップ(die)そしてバルブを保護
- 流量計により排気量を正確にコントロール
- 交換用チャンバー O-リング (3)、交換用チャンバーランプ (1), 交換用 5A slo-blow ヒューズ(2)
- 3 Teflon® チャンバーインサート：チャンバー内径 4"、3"、2"そして1.25"対応
- Teflon® ウェハ*ホルダー：直径 4", 3", 2"、 10mm x 10mmチップ(die)ホルダー(ＨＦ耐性有り)
- tousimis® 社技術スタッフによる技術サポート(アメリカ)
- 全てのパーツ・修理を2年間保証(全ての修理は、アメリカのトーシミス社で行われます
- 規格：
- 標準アクセサリー：
* Indicates tousimis® patented, patent-pending, registered, or copyrighted features.
オプショナルアクセサリー
| 8777 | SOTER™ CONDENSER |
| 8760-02 | KNURL NUT for any tousimis® Autosamdri®-815B and Automegasamdri®-915B Chamber I.D. |
| 8760-40 | 5 AMP FUSE |
| 8770-10 | CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz |
| 8770-32 | HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft |
| 8770-33 | HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft |
| 8770-HPS | HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft) |
| 8770-60 | CHAMBER LID, for Autosamdri®-815B |
| 8770-51T/815B | Teflon® O-Ring for Autosamdri®-815B |
| 8784 | LCO2 Filter Housing |
| 8784A | LCO2 FILTER ELEMENT for #8784 |
| 8783 | LCO2 Filter Adaptor Kit |
| 8770-53 | POWER CABLE |
| 8770-54 | LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT |
| 8770-55 | LCO2 TANK HEATER |
| 8768B | TEFLON® WAFER HOLDER for 4" Diameter Wafers |
| 8768C | TEFLON® WAFER HOLDER for 3" Diameter Wafers |
| 8768D | TEFLON® WAFER HOLDER for 2" Diameter Wafers |
| 8768G | TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers |
| 8768E | TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips |