Autosamdri®-815, Series B
オートサムドリ-815, シリーズB (クリーンルーム仕様)
tousimis catalog #8779C
- ■ オートマチック臨界点乾燥
- ■ 1cm sq.チップ(die)を５枚、 または直径1"ウェハ５枚を一度に処理可能
- ■ クリーンルーム仕様
新しい Autosamdri®-815, Series B* は、Dr. A. J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました。 クリーンルーム仕様のため、チップ(die)の張り付きを防止します。 スムーズかつ正確な制御が出来ることがAutosamdri®-815, Series Bの特徴です。
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特徴
- マイクロプロセッサによる自動処理と再現性を確保*
- オートでの処理とセミオートでの処理を選択可能*
- 装置内の全てのバルブとシールはLCO2とアルコールに対して不活性処理済み*
- 優れた温度制御*.
- 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御*
- 内部状態を確認するための窓と内部照明がついたチャンバー
- 挿入、観察がとても簡単
- 効果的な断熱冷却システム* (25℃から0℃まで下げる為の所要時間はわずか90秒)
- LEDにより処理内容を即時表示*
- 進化した信頼出来るソリッドステイト電子回路
- システムとキャビネットは静電気フリー設計*
- 全ての電子部品はCE、UL規格と米国軍陸軍規格に準拠
- オプショナルアクセサリーにあるSOTER™ コンデンサー* を接続可能
- キャビネット: 36cm(幅) x 26cm(高さ) x 55cm(奥行き)
- チャンバーサイズ: 内径 1.25" x 深さ 1.25"
- 温度ゲージ範囲: -30℃〜 60℃
- 圧力ゲージ範囲: 0〜2,000 psi
- 温度ゲージ範囲: -30℃〜60℃
- 圧力ゲージ範囲: 0〜2,000 psi
- バーニアハンドルを全てのメータリングバルブにつけることで、正確な流量コントロールと再現性を確保
- 110-125V / 60 Hz、 15Ａ (その他の電圧でもご用意できます。お問い合わせ下さい)
- 取り外し可能な三口プラグ付きスペアコード 120V, 60Hz, 15 A
- 外側ステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングのLCO2用高圧ホース。 10 feet (〜 3ｍ迄) (その他の長さがご希望の場合は別途お見積もり致します)
- LCO2用の水分／油分／微粒子フィルター(ポア直径0.5μm)(#8784) は、高圧ホースにプレインストール
- 排気口用肉厚タイゴンチューブ
- ステンレス内部フィルター (ポアサイズ 直径0.4μm)がライン、サンプルそしてバルブをガード
- 流量計( CO2流量の調整とモニター用)は、2〜20 SCFH。 (ブリード、ベントレート)
- Teflon® チップ(die)ホルダーは、10mm x 10mmのチップ(die)、５枚処理可能
- 設置用ツールキット
- スペアチャンバー Ｏリング ｘ２
- スペア ５Ａ Slo-Blowヒューズ ｘ２
- スペアチャンバーランプ ｘ１
- 無料テクニカルサポート
- ユーザーマニュアル
- チェック用データシート
- 全てのパーツ・修理を2年間保証(全ての修理は、アメリカのトーシミス社で行われます）
- 規格：
- 標準アクセサリー：
* Indicates tousimis® patented, patent-pending, registered, or copyrighted features.
オプショナルアクセサリー
| 8777 | SOTER™ CONDENSER |
| 8760-01 | KNURL NUT for any tousimis® Samdri® with a 1.25" Chamber I.D. |
| 8760-40 | 5 AMP FUSE |
| 8770-10 | CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz |
| 8770-32 | HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft |
| 8770-33 | HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft |
| 8770-HPS | HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft) |
| 8770-50 | CHAMBER LID, for any tousimis SAMDRI® with a 1.25" diameter chambers |
| 8770-51 | O-Ring for 1.25" Chamber I.D. |
| 8770-51/T | Teflon® O-Ring for 1.25" Chamber I.D. |
| 8784 | LCO2 Filter Housing |
| 8784A | LCO2 FILTER ELEMENT for #8784 |
| 8783 | LCO2 Filter Adaptor Kit |
| 8770-53 | POWER CABLE |
| 8770-54 | LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT |
| 8770-55 | LCO2 TANK HEATER |
| 8768G | TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers |
| 8768E | TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips |